Технологія DirectDrive, результат двадцятирічних досліджень, здійснила прорив у точності плазмового травлення для виробництва мікросхем.
У процесі мініатюризації електроніки надвисока точність є критично важливою. Саме цю потребу задовольняє DirectDrive — перше в галузі твердотільне джерело плазми, яке радикально змінює виробничі можливості. Розроблена на основі роботи Патріка Прібила з UCLA, ця технологія дозволяє керувати плазмою з реакцією в 100 разів швидшою, ніж у традиційних систем. «Це майже як дати скульптору лазер замість зубила», — зауважив Прібил.
Технологія базується на імпульсному керуванні радіочастотною енергією, яка вмикається й вимикається тисячі разів на секунду. Це забезпечує значно точніше травлення мікроскопічних візерунків на кремнії — матеріалі, що лежить в основі напівпровідників. До впровадження DirectDrive перемикання між рівнями потужності займало занадто багато часу, спричиняючи дефекти. Новий метод дозволяє змінювати ці параметри лише за 50 мікросекунд, що відкриває можливість для виробництва сучасних схем штучного інтелекту.
Інновація бере початок з 2006 року, коли Прібил, експериментуючи у власній кухні, створив перший прототип перемикача RF. І хоча початково галузь не сприйняла ідею, наполеглива робота дослідника та підтримка колег, зокрема фізика Вальтера Гекельмана, дозволила вдосконалити концепцію. Завдяки багаторічним експериментам із лазерами та іонними установками, дослідники зрозуміли, як іонна динаміка реагує на швидкі RF-імпульси.
У 2025 році компанія Lam Research офіційно представила DirectDrive як патентовану технологію. «Це зменшує кількість дефектів у процесі ультрафіолетового структурування», — йдеться у пресрелізі компанії. Впровадження цієї технології вже відбувається у виробництві, що свідчить про її практичну цінність. «Щороку на кожну людину на планеті виробляється один квадратний дюйм кремнію», — підкреслив Прібил, акцентуючи на глобальному значенні вдосконалень у сфері мікроелектроніки.